■タイプ
油回転
■メーカー
ULVAC
■型式
PVD-360
■年式
不明
■製造No.
A28A-01865
■モーター容量
0.75kw
■排気量（L/min）
310/372
■真空量（Kap）
6.7
■接続口径
25A
■管理番号
VP-12
■配置
7
■摘要
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